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5月19日，科創半導體設備ETF鵬華基金（589020）最新份額為3.16億份，較前一交易日減少了1200.0萬份。當日資金凈流入598.24萬元（資金流向是當日計算的資產凈值和上一交易日計算的資產凈值相減得出的），最新資產凈值計算值為6.48億元。該基金近一周凈值上漲14.67%，近一個月凈值上漲45.42%。

科創半導體設備ETF鵬華基金成立于2025年8月27日，基金經理為林嵩，基金跟蹤標的為上證科創板半導體材料設備主題指數，成立以來超額回報為-4.23%，近一個月超額回報為-0.33%。最新披露的基金持倉數據顯示，截止2026年3月31日，該基金第一大重倉股為拓荊科技（688072），持股占比為10.69%。

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